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半导体工艺在各个领域中的应用越来越广泛,然而其生产过程中产生的废气也对环境造成了严重的影响。因此,如何有效处理这些废气,减少其对环境的影响,成为了当前研究的重要课题。本文将介绍半导体工艺废气处理的新技...
针对无锡该半导体电子厂废气处理工程,我司采用了喷淋塔+UV光氧催化+干式过滤+活性炭吸附浓缩+催化燃烧,最终实现了废气达标排放。